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单晶金刚石试件的表面清洗方案

发表时间:2014-11-29

  单晶金刚石试件的表面清洗方案

  当抛光表面的粗挺度值非常低吋,表面的吸附能力较强,极易吸附油脂和小颗粒。 图3.7(a)是抛光后金刚石试件表面吸附油膜的原子力显微镜照片。以酒精为溶剂进行超 声清洗时无法去除油膜。用擦净纸擦拭后金刚石表面试件表面的原子力显微镜照片如图 3.7(b)所示,可以看出表面有明显的划痕。通过加热方法去除油膜后的金刚石试件表面 的原子力显微镜照片如图3.7(c)所示,可以看出表面仍然吸附着许多小颗粒。刚刚抛光 后的金刚石表面是干净的,但往往无法立即测量,所以测量前对试件进行清洗显得尤为 重要。通过大量实验研究表明,以丙酮为溶剂进行超声振动清洗10min时,效果最佳。