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LED蓝宝石衬底减薄机

发表时间:2015-02-04

  LED蓝宝石衬底减薄机

LED蓝宝石衬底减薄机
  产品名称:LED蓝宝石衬底减薄机
  高速横向减薄机
  主要用途:
  非常适合于工件硬度比较高,厚度超薄,且加工精度要求高的产品。如:LED蓝宝石衬底、光学玻璃晶片、石英晶片、硅片、诸片、陶瓷片、钨钢片等各种材料的快速减薄。
  工作原理:
  1.本系列横向研磨机为精密磨削设备,由真空主轴吸附工件与金刚石磨轮作相反方向高速磨削,金刚石磨轮前后摆动。该方法磨削阻力小、工件不会破损,而且磨削均匀生产效率高。
  特 点:
  1.可使工件加工厚度减薄到0.02mm厚而不会破碎。而且平行度与平面度可控制在±0.002mm范围内。
  2.减薄效率高,LED蓝宝石衬底每分钟可减薄48um。硅片每分钟可减薄250um。
  3.系列研磨机采用CNC程控系统,触摸屏操作面板,
  技术参数:
型    号 HD-150LX HD-180LX HD-200LX HD-230LX
金刚石磨轮尺寸 φ150×H25 φ180×H25 φ200×H30 φ230×H30
最大工件尺寸 φ150mm φ180mm φ200mm φ230mm
磨轮转速(可调) 0---1000rpm /分钟 0---1000rpm /分钟 0---800rpm /分钟 0---800rpm /分钟
工件转速(可调) 0---2000rpm /分钟 0---2000rpm /分钟 0---1800rpm /分钟 0---1800rpm /分钟
磨轮电机功率 1.5KW. 380V 3相 1.5KW. 380V3相 2.2KW. 380V 3相 2.2KW. 380V 3相
真空主轴电机功率 0.75KW. 380V3相 0.75KW. 380V3相 1.1KW. 380V3相 1.1KW. 380V3相
控制精度(平行度) 1um(φ100mm) 1um(φ100mm) 1um(φ100mm) 1um(φ100mm)
外形尺寸 1200×550×1550 1200×550×1550 1350×600×1600 1350×600×1600
重   量: 850kg 980kg 1100kg 1300kg